Combinando tecnología IR y algoritmos especialmente diseñados, la plataforma Dragonfly G3 garantiza una inspección del cien por cien de la oblea en centros de producción.
Onto Innovation anuncia el lanzamiento de una nueva capacidad de inspección por debajo de la superficie para la plataforma de metrología e inspección 2D/3D Dragonfly G3.
La nueva capacidad permite la inspección de obleas enteras al buscar defectos críticos que puedan afectar al rendimiento y provocar la pérdida de die y la rotura de obleas en pasos posteriores del proceso. Hasta el momento, era imposible localizar dichos defectos en un entorno de producción.
En el mundo actual de obleas cada vez más delgadas, y de unión de matrices u obleas multicapa, los defectos bajo las superficies son mucho más “peligrosos” que nunca, ya que las capas unidas ahora tienen una décima parte de su espesor anterior, y mucho más frágiles y, por lo tanto, más susceptibles a sufrir daños antes o después de la unión.
Los defectos bajo la superficie que se producen durante el proceso de unión o “adelgazamiento”, como microfisuras, no sólo pueden causar problemas de rendimiento en el die, sino que las obleas también pueden romperse, provocando la pérdida de cientos de die en un instante.
Tecnología IR y algoritmos
Ahora, Onto Innovation dota de la capacidad de detectar estos defectos en la plataforma Dragonfly. Usando los últimos avances en tecnología infrarroja (IR) y algoritmos especialmente diseñados, ofrece a los clientes múltiples posibilidades a la hora de escanear toda la oblea en la búsqueda de defectos ocultos (en lugar de limitarse a algunas zonas seleccionadas de la propia oblea).
Esto tiene un gran impacto en el rendimiento final y en el ahorro de costes, gracias a la reducción de las pilas de obleas y die desechadas.
“Los clientes demanda una capacidad de inspección del cien por cien a nivel producción”, destaca Mayson Brooks, vicepresidente y general manager de la División de Inspección de Onto. “La nueva capacidad IR de alta capacidad del sistema Dragonfly G3 proporciona la mejor respuesta, en combinación con la flexibilidad de poder elegir entre múltiples lentes. Como resultado, es posible inspeccionar con diferentes aumentos para diferentes aplicaciones y dispositivos”.
En el “Servicio al lector de NTDhoy” puedes solicitar más datos.
