Con un rango de operación de -200 a +450 °C, la plataforma de conversión Luxtron M-1100 cumple los requisitos de procesos de deposición en semiconductores de plasma y fabricación etch.
Advanced Energy, fabricante de soluciones de conversión, medida y control de energía, amplía su familia LuxtronFluorOptic Thermometry (FOT) con una plataforma de conversión altamente integrada que ofrece sensado de alta precisión en un amplio rango de temperaturas.
Así, ideal para procesos de deposición en semiconductores de plasma (enhanced) y fabricación etch, el nuevo modelo Luxtron M-1100 opera desde -200 °C, el inicio de la gama criogénica, a +450 °C, con una precisión de +/- 0,1 °C y una estabilidad de +/- 0,05 °C.
La integración de cinco canales respalda la monitorización de múltiples sondas desde un convertidor, en tanto que las salidas de comunicación flexible simplifican la monitorización y las actualizaciones.
“Una monitorización precisa en rangos de temperatura extendida resulta esencial, dado que los fabricantes de semiconductores desean cumplir los requisitos de deposición y etch complejos de los procesos de producción de próxima generación”, comenta Dhaval Dhayatkar, Vicepresidente y general manager de Productos de Sensado y Control de Advanced Energy. “El Luxtron M-1100, que aprovecha la termometría de fibra óptica basada en fósforo, satisface las necesidades de simplificar la integración en sistemas de monitorización y control”.
Beneficios y sus ventajas de uso
Beneficiándose de sondas de fibra óptica con tecnología de sensor de fósforo, los sistemas de sensado Luxtron FOT combinan convertidores de alto rendimiento con una fuente de luz avanzada, un algoritmo de software de fotodetector y circuitería de amplificación de bajo ruido. Además, el Luxtron M-1100 se convierte en el primer modelo en ofrecer interfaces de comunicación analógicos y EtherCAT.
Asimismo, el nuevo convertidor facilita la implementación al poder montarse en pared en el lado del sistema monitorizado.
Advanced Energy tiene previsto presentar el Luxtron M-1100 en el transcurso de SEMICON West 2023, que se celebra del 11 al 13 de julio en el Moscone Center de San Francisco (Estados Unidos).
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