La nueva alineadora sin máscara para la producción de obleas de hasta 300 mm Maskless Aligner MLA300 es ideal en entornos de fabricación de circuitos integrados, dispositivos electrónicos discretos, microóptica, microfluidos, MEMS y tarjetas sonda para test de IC.
Heidelberg Instruments lanza su Maskless Aligner MLA300 para la producción masiva de obleas de hasta 300 mm.
La alineadora MLA300 aporta la flexibilidad y el rendimiento de la litografía sin máscara a la línea de producción de un amplio rango de aplicaciones: circuitos integrados, packaging avanzado, dispositivos electrónicos discretos, microóptica, microfluidos, MEMS y tarjetas sonda para test de IC, entre otras.
La tecnología de esta máquina combina motores ópticos de alta velocidad alimentados por fuentes de luz de estado sólido y modulares ópticos basados en MEMS.
El sistema puede integrar hasta cuatro módulos ópticos para proporcionar las prestaciones requeridas en entornos de microproducción industrial. Estos módulos pueden tener diferentes longitudes de onda y resoluciones, permitiendo la personalización del sistema en función de los requisitos individuales, como tamaño, velocidad de escritura, resistencia y sustrato.
Funcionamiento de la alineadora sin máscara
La MLA300 ha sido diseñada como una solución totalmente integrada con un pequeño formato. La tecnología sin máscara elimina el tiempo y el coste asociados con el uso de fotomáscaras y minimiza los riesgos de seguridad de datos relativos a la producción de máscaras externamente.
La nueva herramienta tiene una resolución estándar especificada a 2 µm (líneas y espacios), con un rendimiento de 2,6 minutos para un sustrato de 100 x 100 mm.
“La flexibilidad del enfoque de máscara dinámica permite a nuestros clientes implementar cualquier cambio en el diseño del dispositivo. También pueden medir las variaciones con respecto a pasos previos del proceso e, inmediatamente, compensarlas”, señala Philip Paul, product manager de la MLA300.
El primer sistema MLA300 ya opera exitosamente en un centro de producción en Alemania.
