Rigaku ha anunciado el espectrómetro para obleas TXRF-V310 que puede medir elementos de contaminación desde Na a U con un sistema de rayos X de tres haces y un sistema detector sin nitrógeno líquido.
El TXRF-V310 incluye un sistema de fase de muestra XYθ patentado de Rigaku, un sistema de transferencia robótica de obleas en vacío y un nuevo software de ventana fácil de usar. Esta combinación contribuye a mejorar el rendimiento, la precisión y la operación.
Su capacidad de descomposición de fase de vapor (VPD) permite la preparación automática de la oblea mientras se efectúa la medición TXRF (fluorescencia de rayos X por reflexión total) en otra oblea para aumentar la sensibilidad y las prestaciones.
Así, el nuevo espectrómetro para obleas VPD-TXRF elimina la variabilidad de técnico que se puede producir con ICP-MS y se puede controlar completamente a mediante la automatización de factoría.
Software en el espectrómetro para obleas
El software Sweeping TXRF (opcional) permite la asignación de la distribución contaminante sobre la superficie de la oblea para identificar los «puntos calientes» y medirlos automáticamente para una mayor precisión.
La opción ZEE-TXRF supera los 15 mm de borde de exclusión de los diseños originales TXRF, lo que permite realizar mediciones con cero borde de exclusión, en tanto que BAC-TXRF permite medidas TXRF de la parte frontal y posterior de obleas de 150, 200 y 300 mm sin contacto al voltear la oblea.
El análisis de TXRF puede medir la contaminación en todos los procesos de fabricación, incluyendo limpieza, litografía, grabado, películas de incineración, etc.
