Los módulos de sensado de temperatura por fibra óptica m922 (dos canales) y m924 (cuatro canales) resultan idóneos en procesos de grabado y producción de obleas.
LumaSense Technologies ha introducido los Semiconductor OEM Modules m922 de dos canales y m924 de cuatro canales diseñados para Electrostatic Chuck, Chamber y otras soluciones de monitorización de temperatura en procesos de grabado y producción de obleas.
Estas alternativas de LumaSense ofrecen capacidad de sensado de temperatura de hasta +330 °C. El módulo m924 tiene una ratio de muestra cinco veces más rápida que la mayoría de módulos y convertidores y proporciona una precisión de medida de ±0.1 °C, con un amplio rango de capacidades de comunicación específicas.
La combinación de sus características internas aporta a los usuarios mejoras en precisión y control de los procesos.
“Los dos nuevos módulos de sensado de temperatura dotan de medida de temperatura de dispositivos de ancho de línea de pequeño tamaño con un mayor rango de temperatura y las ratios de muestra necesarias en procesos con obleas”, afirma Sam Ojeda, Product Manager de Fiber Optic Temperature (FOT) de LumaSense.
Trabajando con los nuevos módulos de sensado de temperatura
El sistema m920 se basa en la gama LumaSense Luxtron de extensiones de fibra óptica y sondas Fluoroptic. Por lo tanto, proporciona mayor flexibilidad y ayuda a minimizar los costes y los errores de falta de compatibilidad entre sondas, módulos y canales.
Los nuevos módulos de sensado de temperatura por fibra óptica son compatibles con las sondas, cables y unidades Luxtron m822 o m602/604, facilitando la actualización.
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