Opto Diode, una división de ITW y miembro del grupo ITW Photonics, acaba de introducir el ODD-SXUV-DLPSD, un fotodiodo sensor de posición con resolución submicrónica UV/EUV dúo lateral.
El nuevo fotodiodo sensor de posición proporciona una respuesta muy estable después de la exposición a la radiación ultravioleta y/o a la ultravioleta extrema (UV/EUV). Está disponible en un encapsulado sin ventanas TO-8 para minimizar los cambios en la capacidad de respuesta del diodo después de la exposición a los fotones UV/EUV intensos.
Con un área activa de 5 mm x 5 mm, el ODD-SXUV-DLPSD es ideal para aplicaciones en la litografía avanzada, y cualquier otra aplicación de posicionamiento que requiera el uso de una sub longitud de onda de 200 nm.
El fotodiodo sensor de posición continua está diseñado para la detección de la posición de la luz desde longitudes de onda de 1 nm a 400 nm. La capacidad de respuesta a 13 nm es típicamente de 0,20 A/W; la capacidad de respuesta a 254 nm es típicamente de 0,02 A/W. La corriente oscura, en condiciones de funcionamiento, es de 10 nA (la normal) y 50 nA (la máxima).
Este nuevo fotodiodo sensor de posición cuenta con una tensión de ruptura inversa de un mínimo de 50 voltios y una capacitancia desde 40 pF (la normal) a 60 pF (la máxima) lo que le hace válido para equipos que precisen una elevada precisión y seguridad.
El rango de las temperaturas de funcionamiento y almacenamiento de este nuevo tipo de fotodiodo sensor de posición va desde -10 grados C a 40 grados C (temperatura ambiente) y de -20 grados C a 80 grados C (en condiciones de nitrógeno o de vacío). La temperatura de unión máxima es de 70 grados C y la temperatura
